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　　鸦片战争以后，一些传教士、商人和洋幕宾在中国开始了广泛的西方法律文化的宣传；西方领事裁判权亦首次在中国司法中唤起了司法官独立审判的新原则的觉醒。中国本上出现了司法官必须独立审判的呼声。严复认为：“所谓三权分立，而刑权之法庭无上者，法官裁判曲直时，非国中他权所得侵害而已。”在中国，由于官职公司不明，难有持平之狱。康有为也认为：“近泰西政论，皆言三权，有议政之官，有行政之官，有司法之官，三权立，然后政体各。”章太炎认为：“晚世之言治者，三分其立法行政司法而各守以有司，惟刑官独与政府抗衡，苟傅于辟，虽达尊得行其罚。”至民国，《中华民国临时约法》规定：“法官独立审判，不受上级官厅之干涉”。“法官在任中不得减俸或转职，非依法律受刑罚宣告，或应免职之惩戒处分，不得解职”，“所有司法人员，必须应法官考试；合格人员，方能任用。”标志着中国近代法官制度的确立。

　　近代中国法官制度变革过程之初，并没有参照西方法官等级制度建立仅代表社会声望、威信和名誉，并不具有职权优势和地位优势的首席法官和大法官制度。清末司法改制后的法官等级制度大体为大理院卿、大理院庭长、大理院推事、高等审判厅厅丞、地方审判厅厅长或厅丞等。南京临时政府的法官等级制度大体为丞政厅秘书长、参事、六科、秘书，法务司司长、四科，狱务司司长、三科。北洋政府时期的法官等级制度为大理院院长、庭长、推事，高等审判厅厅长、庭长、推事，地方审判厅厅长、推事，初级审判厅推事。广州、武汉国民临时政府的法官等级制度与北洋政府时期相同。　

　　这一时期的法官官阶分为特任、简任、荐任和委任四职。南京国民政府时期的法官等级分为最高法院特任院长、简任庭长和推事，行政法院特住院长、简任庭长和评事，中央公务员惩戒委员会特任委员长、简任委员，地方公务员惩戒委员会简任委员长、荐任委员，以及高等法院、地方法院和初级法院的院长、庭长、推事和评事。　

　　近代台湾地区司法院下设院长、副院长、大法官、大法官会议、宪法法庭、司法院会议、各级普通法院、行政法院、公务员惩戒委员会、秘书长、副秘书长、秘书处、大法官书记处、民事厅、刑事厅、行政诉讼及惩戒厅、人事审议委员会等组织机构，其法官等级制度大体为司法院特任院长、副院长、大法官，最高法院特任院长、简任第十四职等庭长、简任第十三至第十四职等法官，高等法院简任第十三至第十四联等院长、简任第十二至第十四职等分院院长、简任第十一至第十三职等庭长、简任第十至第十一或荐任第九职等法官，地方法院简任第十至第十二职等院长和分院院长、简任第十至第十一职等或荐任第九职等庭长、简任第十至第十一职等或荐任第八至第九职等法官。

　　台湾宪法规定，司法院设大法官若干人；《司法院组织法》明定大法官人数为17人。宪法规定国民大会拥有对大法官的人事任命同意权。大法官应由具有下列资格者任之：曾任最高法院法官10年以上而成绩卓著者；曾任立法委员9年以上而有特殊贡献者；曾任大学法律主要科目教授10年以上而有专门著作者；曾任国际法庭法官或有公法学或比较法学之权威著作者；研究法学、富有政治经验、声誉卓著者。以上述各项同一资格就任大法官的人数不得超过总名额的三分之一；大法官出缺时，其继任人的任期至原任期届满之日为止。大法官不能单独行使职权，而是由大法官会议行使职权；大法官会议由大法官组成，司法院院长为大法官会议主席；大法官会议行使解释宪法及统一解释法律命令之职权，其法律解释具有法律约束力，为台湾法律渊源之一。另外，大法官还出席宪法法庭、司法院会议，并拥有对其作出的裁判、决议的表决权。